深圳微普为等离子体及电子束表面提供专业服务,为PVD和CVD应用提供核心部件及生产,研究设备。产品和服务包括:德国Huettinger电源,英国Gencoa阴极,德国FHR连续生产设备,以及Fraunhofer FEP德国最著名的镀膜技术研究所。
深圳市微普真空系统集成有限公司为等离子体及电子束表面技术提供专业服务,为PVD和CVD应用提供核心部件及生产,研究设备。产品包括:电源,磁控阴极,反应溅射工艺控制器,各种CVD, PVD 设备,以及相关部件。
公司同时对新产品,新应用提供如下服务:
---应用基础研究
---可行性研究
---生产评估
---预生产
涉及行业为:
平板显示及平板光学
建筑玻璃
数据存储
装饰及工具
微电子及半导体制造
其他工业用途
受委托在国内开展业务的国外单位包括:
具有80多年历史的德国Huettinger公司(www.huettinger-electronics.com),生产制造涵盖 PVD,PECVD,MOCVD 各种应用的电源产品。
德国FHR公司(www.fhr-ab.de)连续生产设备和三维镀膜技术和设备居于世界领先水平。公司拥有各类设备用于工艺开发和小批量试生产。
Fraunhofer FEP(www.fep.fhg.de)是德国最著名的镀膜技术研究所。双阴极技术和电子束技术是其突出特点
专业制造磁控阴极的英国GENCOA公司(www.gencoa.com)为世界著名设备制造商及最终用户,研究单位提供大量产品及解决方案,出色的配置不但保证薄膜质量,成本消耗也降到最低。Magnetron Cathode 不再简单称为阴极。Gencoa 公司通过优化磁场设计,使沉积薄膜特性达到最优,并极大降低工艺成本。
联系方式:
电话:0755-26642901,传真:0755-26419205
E-mail:ivan.huang@vacprotek.com
网址:www.vacprotek.com
联系人:黄新盈
QQ:16192185
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